無水氫氟酸的生產過程是用工業濃硫酸(98%)和粉料氟石在反應爐內反應，爐外用煙道氣加熱，反應產生的氟化氫氣體由爐尾導出。生產的關鍵設備是反應爐。在反應爐內的介質主要是不同濃度的硫酸和氟化氫氣體，此外還有氧氣、水蒸氣和少量氟硅酸等雜質。從爐頭到爐尾的環境，包括溫度和介質，也是不斷變化的。